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This Test Method is particularly applicable to clean
非システム的（つまりランダムな）誤差のさまざまなソースを分離することを意図した本ガイドの手順は，要因分析および分散分析（ANOVA）に基づいている。本ガイドの第一日の焦点は自動MSの評価であるため，異なるオペレータによって持ち込まれる変動は最小であると予測する。
本ガイドは複数の目的で提供される。本ガイドは，高純度水（HPW）装置の新規購入に関する性能基準を設けるための基礎として用いてよい。また，設備エンジニアがHPWシステム運転時のプロセス制御パラメータを設定する目的で内部使用してもよい。さらに，施設によって供給されているHPWの品質について，プロセスエンジニアが合理的な期待を設定する目的で用いてもよい。
SEMI MF1725-1110 (Reapproved 0322)
E09800 - SEMI E98 - Provisional Standard for the Object-Based Equipment Model (OBEM) StdPbc-0611 This Test Method is particularlyPurposes of the Object Based Equipment Model include the following: Define a standard model for interfacing to multi process equipment and other complex equipment. Define standard equipment components so that communications can "discuss" component related issues. Provide an equipment model that can be easily integrated with SEMI E81 CIM Framework systems by connecting an OBEM compliant equipment to a Machine object. The purpose of the Object Based
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